[发明专利]一种图像传感器及其制作方法在审
申请号: | 202110493668.4 | 申请日: | 2021-05-07 |
公开(公告)号: | CN113161377A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 周雪梅;陈鸿 | 申请(专利权)人: | 上海芯物科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种图像传感器及其制作方法,该图像传感器包括硅基底,所述硅基底包括多个在第一方向上并排排列的感光区,所述感光区沿第二方向延伸,其中,所述第一方向和所述第二方向相互交叉;金属互联层,所述金属互联层位于所述硅基底的一侧,所述金属互联层邻近硅基底的表面分别与所述第一方向和所述第二方向平行;反射层,所述反射层位于所述金属互联层远离所述硅基底的一侧,所述反射层用于将通过所述硅基底的光反射至感光区;载片,所述载片位于所述反射层远离所述金属互联层的一侧。本发明实施例提供的图像传感器及其制作方法可以增加感光区的吸收效率,提高图像传感器的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 图像传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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