[发明专利]平顶微凸点高度测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 202110477512.7 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN115267807A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 孟繁昌;张滋黎;王棚;纪荣祎;潘映伶;崔成君;程智;董登峰;周维虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01S17/48 | 分类号： | G01S17/48;G01S17/89 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供了一种平顶微凸点高度测量装置及测量方法，平顶微凸点高度测量装置包括：平顶微凸点，设置在晶圆表面上；光源系统，光源系统输出端与晶圆表面相对；光源系统输出光条投射至晶圆表面上；驱动平台，晶圆设置在驱动平台上，驱动平台按照预定路线移动，晶圆随驱动平台移动；成像系统，接收光条投射到晶圆表面形成的反射光，根据反射光合成数字图像并输出；运算平台，接收成像系统输出的数字图像，通过对数字图像处理确定平顶微凸点的高度。本公开中的平顶微凸点高度测量装置具有结构简单、易操作，能够实现高度为100微米以下的平顶微凸点的测量，实现了平顶微凸点的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 平顶 微凸点 高度 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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