[发明专利]射频电源及其阻抗匹配方法、半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202110472890.6 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113241296A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 乔世波;李光健;陈虹 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种射频电源及其阻抗匹配方法、半导体工艺设备，涉及半导体加工技术领域。其中，射频电源包括：输出模块，用于生成射频信号；采集模块，用于采集所述射频信号的反射功率和前向功率；控制模块，用于根据所述射频信号的反射功率与前向功率之间的比值，调整所述输出模块所生成的所述射频信号的输出频率，以使输出频率调整后的射频信号的反射功率小于预设阈值。本发明的射频电源的阻抗匹配的响应速度快、控制精度高，大大提高了阻抗匹配的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 电源 及其 阻抗匹配 方法 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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