[发明专利]一种单晶炉辅助磁场控制系统及方法在审
| 申请号： | 202110419979.6 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113122926A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 范桂林;李茂欣;沈伟华 | 申请（专利权）人： | 上海磐盟电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B30/04 | 分类号： | C30B30/04;C30B15/26 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 温开瑞 |
| 地址： | 201600 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种单晶炉辅助磁场控制系统，属于单晶制造的领域，其包括炉筒，所述炉筒的两侧设有磁头，且两个磁头相对设置，所述磁头下方设有驱动机构，所述驱动机构包括用于驱动两个磁头相向运动的第一驱动组件，以及用于驱动磁头上下移动的第二驱动组件。本申请具有提高磁场的效果，从而提高所生产的单晶的品质的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 辅助 磁场 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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