[发明专利]一种MEMS技术用石英基片的清洗装置有效
| 申请号： | 202110406227.6 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113118127B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 窦广彬;董一德;郑嵩;夏良军 | 申请（专利权）人： | 南京晶芯光电研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 潘霞 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于石英基片清洗技术领域，尤其是涉及一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，包括超声波清洗机、清洗槽体和清洗水箱，超声波清洗机的上端固定连接有竖直的龙门支架，龙门支架的侧壁上固定连接有两个竖直的电动滑轨，且两个电动滑轨的外侧滑动连接有同一块电动滑块，电动滑块的侧壁上固定连接有两个L形支杆，清洗槽体对应连接在两个L形支杆的下端，清洗槽体的下端为开口式结构，且清洗槽体内底壁上转动连接有水平的承载板。本发明能够避免清洗过程中多块石英基片出现粘接的情况，助于石英基片的稳定清洗，并且可以对清洗架内的石英基片进行吹风处理，助于清洗液的沥干操作，以达到干燥的目的助于后续的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 技术 石英 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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