[发明专利]一种化学气相沉积装置

摘要

本发明提供一种化学气相沉积装置。所述化学气相沉积装置包括反应腔室，反应腔室的顶部设有第一进气管路，第一进气管路内部设有第二进气管路；第一进气管路用于通入反应气体，第二进气管路用于通入清洗气体；其中，第二进气管路的出口端设有一分流盘，分流盘位于反应腔室内，分流盘上设有一个第一通孔和多个第二通孔，第二进气管路的出口与第一通孔对应，第一进气管路的出口与多个第二通孔对应。本发明通过将反应气体和清洗气体通过第二进气管路隔离开，避免三氟化铝晶体颗粒被带入反应腔室内，通过设置分流盘，不仅能引导气体向四周和下侧进行扩散，进一步隔离反应气体和清洗气体，还能同步改善气流分布均匀性，从而提高成膜均匀性。