[发明专利]一种石墨烯铜靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110362809.9 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113106401A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 李刚;张承平 | 申请（专利权）人： | 苏州高松野冈石墨烯新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 李改平 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯铜靶材及其制备方法，具体涉及靶材技术领域，包括靶材组件，所述靶材组件包括外包铜背板和石墨烯铜靶材主体，所述外包铜背板内部开设有凹槽，所述石墨烯铜靶材主体外壁设置有石墨烯镀层，所述外包铜背板和石墨烯铜靶材主体之间焊接连接，所述凹槽的内廓面积与石墨烯铜靶材主体的外廓面积相同。该石墨烯铜靶材及其制备方法，可以使得铜靶材的结构和光电性能得到有效的调节，有效的提高了铜靶材的性能，保证铜靶材的可靠性和抗干扰性等性能，提升靶材的高导电及高温抗应力，强度高，并且性能稳定，同时制备方法简单，成本低廉，方法简单，可用于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 烯铜靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州高松野冈石墨烯新材料有限公司，未经苏州高松野冈石墨烯新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110362809.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
