[发明专利]一种石墨烯铜靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110362809.9 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113106401A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 李刚;张承平 | 申请（专利权）人： | 苏州高松野冈石墨烯新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 李改平 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 烯铜靶材 及其 制备 方法 | ||
1.一种石墨烯铜靶材，包括靶材组件(1)，其特征在于：所述靶材组件(1)包括外包铜背板(2)和石墨烯铜靶材主体(3)，所述外包铜背板(2)内部开设有凹槽(4)，所述石墨烯铜靶材主体(3)外壁设置有石墨烯镀层(5)。
2.根据权利要求1所述的一种石墨烯铜靶材，其特征在于：所述外包铜背板(2)和石墨烯铜靶材主体(3)之间焊接连接。
3.根据权利要求1所述的一种石墨烯铜靶材，其特征在于：所述凹槽(4)的内廓面积与石墨烯铜靶材主体(3)的外廓面积相同。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种石墨烯铜靶材及其制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、制备石墨烯铜靶材主体，将高纯石墨烯和铜粉粉末为原料，石墨烯的质量含量为0.05～2.5％，并将石墨烯和铜粉粉末放置于V型混拌机混合均匀，然后将混合均匀后的石墨烯和铜粉混合物置于真空热压机的模具中，通过热压机将模具中抽至真空，然后通入氩气，随后通过压杆热压成石墨烯铜靶材胚体；
S2、将所述步骤S1中得到的石墨烯铜靶材胚体进行机加工，并在石墨烯铜靶材胚体外壁溅射镀上石墨烯镀层，得到石墨烯铜靶材；
S3、准备外包铜背板，并对外包铜背板内部的凹槽的尺寸进行检测，保证石墨烯铜靶材能够刚好放置在外包铜背板的凹槽内部；
S4、将所述步骤S2中得到得到石墨烯铜靶材放置在外包铜背板的凹槽内部；
S5、将外包铜背板和石墨烯铜靶材主体之间进行扩散焊接。
5.根据权利要求4所述的一种石墨烯铜靶材及其制备方法，其特征在于：所述步骤S1中，V型混拌机的转速为100～250r/min。
6.根据权利要求4所述的一种石墨烯铜靶材及其制备方法，其特征在于：所述步骤S1中，热压机抽真空至5x10-2torr以下。
7.根据权利要求4所述的一种石墨烯铜靶材及其制备方法，其特征在于：所述步骤S1中，通入氩气至0.5atm。
8.根据权利要求4所述的一种石墨烯铜靶材及其制备方法，其特征在于：所述步骤S1中，压杆的压力为100～200MPa。
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