[发明专利]一种用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线及方法在审
申请号: | 202110359064.0 | 申请日: | 2021-04-02 |
公开(公告)号: | CN113061870A | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 罗万民 | 申请(专利权)人: | 泸州韶光智造科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/50 |
代理公司: | 上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380 | 代理人: | 耿恩华 |
地址: | 646000 四川省泸州市江阳区蓝*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线及其方法,其包括镀膜室、前输送轨道、后输送轨道、电动移动板车和镀膜架子;通过前输送轨道、承载轨道和后输送轨道的设置,能够实现轨道的对接和分离,并且在对接的时候完成镀膜挂架的自动移动转移,而在分离的时候则通过镀膜室完成对于镀膜挂架上的元器件的镀膜过程。由此减少了工作人员的劳动强度,提高了连续化作业的能力,另外,就是通过电动移动板车的作用,特别是通过升降板的作用而能够非常方便地支撑托起镀膜挂架并且也非常方便地把镀膜挂架放置到镀膜室内进行镀膜。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 光学薄膜 元器件 连续 真空镀膜 生产线 方法 | ||
【主权项】:
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