[发明专利]一种MPCVD设备基板台冷却系统

摘要

本发明公开了一种MPCVD设备基板台冷却系统，包括基板、冷却水进管、冷却水出管，基板内设置若干个竖直布置的冷流孔，冷流孔在水平方向上均匀分布，冷流孔内设置将其隔为弯折流道的隔板，弯折位置位于冷流孔的顶端，冷却水进管插入基板内并连接所有的冷流孔一侧流道，冷流孔的另一侧流道均连接至冷却水出管上。往基板内通入适宜流量的冷却水，用于冷却MPCVD生产过程中的基片上的高温区域，防止局部过热引起金刚石膜沉积不均匀，由离子态沉积为金刚石相的过程如果不同位置温差不同，则金刚石结构内应力分布也不均匀，导致金刚石膜的成品质量下降。基板上有多个均布的冷流孔，在全区域上进行温度控制。