专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板支撑和具有基板支撑基板检查设备-CN200710110868.7有效
  • 崔裕灿;洪旋珠;朴珉镐 - SFA工程股份有限公司
  • 2007-06-12 - 2007-12-19 - G01N21/95
  • 本发明揭示一种基板支撑和一种具有所述基板支撑基板检查设备。一种基板检查设备包括:,其上面稳定地安装有基板,所述基板成为检查目标,其中对附接到所述基板的一边的TAB的区域执行凹痕检查和裂缝检查;至少一个凹痕检查相机,其对所述TAB区域进行照相,以便检查所述TAB中是否出现凹痕;至少一个裂缝检查相机,其对所述TAB区域进行照相,以便检查所述基板的TAB区域中是否出现裂缝;以及光学系统移动单元,其支撑所述凹痕检查相机和所述裂缝检查相机,以便相对于所述而相对地移动
  • 支撑具有检查设备
  • [发明专利]基板支撑和具有基板支撑基板检查设备-CN200910179862.4无效
  • 崔裕灿;洪旋珠;朴珉镐 - SFA工程股份有限公司
  • 2007-06-12 - 2010-03-10 - G01N21/95
  • 本发明揭示一种基板支撑和一种具有所述基板支撑基板检查设备。一种基板检查设备包括:,其上面稳定地安装有基板,所述基板成为检查目标,其中对附接到所述基板的一边的TAB的区域执行凹痕检查和裂缝检查;至少一个凹痕检查相机,其对所述TAB区域进行照相,以便检查所述TAB中是否出现凹痕;至少一个裂缝检查相机,其对所述TAB区域进行照相,以便检查所述基板的TAB区域中是否出现裂缝;以及光学系统移动单元,其支撑所述凹痕检查相机和所述裂缝检查相机,以便相对于所述而相对地移动
  • 支撑具有检查设备
  • [发明专利]基板承载-CN200510124975.6有效
  • 楫间淳生;高濑真治;山口和伸;山本夕记 - 东京応化工业株式会社;龙云株式会社
  • 2005-10-04 - 2006-06-21 - H01L21/687
  • 提供一种支持将多个基板截取为多个的大型基板时、使销与裁断预定线重叠的基板承载。在支持板(2)上安装多个固定销(3)。在该固定销(3)的俯视位置,配置在与承载在该基板承载台上的大型基板W的有效区域外的外周缘L1相重叠的位置上,另外还配置在大型基板截取为2个时的裁断预定线L2相重叠的位置上。另一方面,在上述支持板(2)中形成的通孔(4)中插入可动销(5),各个可动销(5)配置在与大型基板进行进一步截取的裁断预定线L3、L4相重叠的位置上。
  • 承载
  • [发明专利]基板-CN200810086288.3无效
  • 黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立 - 东捷科技股份有限公司
  • 2008-03-25 - 2009-09-30 - C23C16/54
  • 本发明一种基板,包含有:一壳体以及至少一基板,该壳体设有一开口,该壳体内部设有一以上的电极板,该电极板的至少一侧上方设有至少一限位件,下方设有至少一滑动件;至少一基板可通过该开口,而置于该限位件与该滑动件之间且贴合于一该电极板的一侧通过本发明的设计可以方便基板置于载台中,使动作流程更为简便,并可同时置入多片基板,不仅节省机具的空间,更减少制作成本及时间的耗费。
  • 基板载台
  • [实用新型]基板-CN200920110211.5有效
  • 白国晓;齐铮 - 北京京东方光电科技有限公司
  • 2009-07-15 - 2010-05-12 - G02F1/13
  • 本实用新型涉及一种基板,包括板、用于监测所述板姿态变化的姿态传感装置和调整台板姿态的姿态控制装置,所述姿态传感装置包括液体水平器和液位传感器,所述液体水平器内装设有导电液体,根据所述导电液体的液面变化发送控制信号的液位传感器设置在所述液体水平器上本实用新型通过设置监测板姿态变化的姿态传感装置,且姿态传感装置利用了连通器原理和液体导电原理,一方面具有反应速度快,调节灵敏,控制精度高度优点,另一方面避免了工作中的磨损,不仅减少了设备故障,而且提高了工作寿命
  • 基板载台
  • [实用新型]基板放置-CN201520721924.0有效
  • 辛炯焕 - K.C.科技股份有限公司
  • 2015-09-17 - 2016-03-09 - H01L21/683
  • 本实用新型涉及一种基板放置,其包括:基板支撑,其与基板的底面接触,并且将所述基板放置于所述基板支撑;流体供给流路,其与形成于所述基板支撑的底面的孔连通,并以具有重力方向成分的形式延长;流量传感器,其感知单位时间内流体通过所述流体供给流路的流量,当所述基板放置在所述基板支撑的底面时,根据通过所述流量传感器所感知到的单位时间内的流量变化,从而感知所述基板的放置与否,从而即使基板支撑台上的基板的表面附着纯水等液体,也能够准确感知有无基板
  • 放置
  • [发明专利]基板承载基板处理方法-CN202010393131.6在审
  • 孟小龙 - TCL华星光电技术有限公司
  • 2020-05-11 - 2020-08-21 - H01L21/683
  • 本发明公开了一种基板承载基板处理方法,包括基板和至少三个吸附装置,所述基板设置有至少三个通孔,所述吸附装置包括:框架,所述框架的顶部设置有开口;支撑顶针,所述支撑顶针的内部设置有中空管路,所述支撑顶针至少一部分穿过所述开口和所述通孔本发明提供的基板承载基板处理方法用于改善基板不能紧密贴合于基板的问题。
  • 承载处理方法

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