[实用新型]基板放置台有效
| 申请号： | 201520721924.0 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN205081107U | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 辛炯焕 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健;陈国军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板放置台，其包括：基板支撑台，其与基板的底面接触，并且将所述基板放置于所述基板支撑台；流体供给流路，其与形成于所述基板支撑台的底面的孔连通，并以具有重力方向成分的形式延长；流量传感器，其感知单位时间内流体通过所述流体供给流路的流量，当所述基板放置在所述基板支撑台的底面时，根据通过所述流量传感器所感知到的单位时间内的流量变化，从而感知所述基板的放置与否，从而即使基板支撑台上的基板的表面附着纯水等液体，也能够准确感知有无基板。 | ||
| 搜索关键词： | 放置 | ||
【主权项】：
一种基板放置台，其作为放置基板的基板放置台，包括：基板支撑台，其与基板的底面接触，并且将所述基板放置于所述基板支撑台；流体供给流路，其与设置于所述基板支撑台的底面的孔连通，并以具有重力方向成分的形式延长；流量传感器，其感知单位时间内流体通过所述流体供给流路的流量，当所述基板放置在所述基板支撑台的底面时，根据通过所述流量传感器所感知到的单位时间内的流量变化，从而感知所述基板的放置与否。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
