[发明专利]MEMS压电麦克风有效
| 申请号： | 202110332900.6 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113115188B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 童贝;石正雨 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02 |
| 代理公司： | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人： | 刘伟 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS压电麦克风，包括至少一个压电单元，所述压电单元包括：基底，所述基底包括围成收容腔的环形周壁和设于所述收容腔内的支撑结构，膜片结构，包括固定区域和若干个活动部，所述固定区域包括锚定部和自所述锚定部的边缘径向延伸形成的若干个锚定臂；所述压电单元还包括若干个弹性结构，每个所述弹性结构包括固定部和固定于所述固定部上的弹性部，所述固定部固定于所述锚定臂上，所述弹性部环绕于每个所述活动部的外周侧上。本发明将若干个弹性结构的所述固定部固定于所述锚定臂上，所述弹性部环绕于每个所述活动部的外周侧上，使膜片通过弹性结构束缚到基底上，从而大大提升了麦克风的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 压电 麦克风 | ||
【主权项】：
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