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[发明专利]压电MEMS发声器及其制作方法-CN202311014261.4在审
发明人：黄湘俊;朱莉莉;石正雨;罗士忠;肖晶晶 -专利权人：湖北九峰山实验室
申请日： 2023-08-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H04R19/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种压电MEMS发声器及其制作方法，发声器包括：基底和至少一个压电复合单元；基底的底部中心区域具有空腔，基底的上表面具有绝缘层；每个压电复合单元设置在基底上表面的边缘区域；每个压电复合单元的预设位置具有金属层沉积形成的焊盘，每个压电复合单元的除预设位置外的其他区域沉积有钝化层；与空腔对应的基底的上部区域具有至少一个凹槽，每个凹槽的底部、侧壁和开口位置的预设区域填充有柔性材料，具有至少一个凹槽的基底的上部区域形成振动薄膜。该发声器在基底的上部区域设置凹槽，有助于释放压电复合单元和振动薄膜的应力，在凹槽内填充柔性材料，可以防止声音泄露，同时可以降低振动薄膜的质量，进而提升声压级。
压电 mems 发声器及其制作方法

[发明专利]压电MEMS换能器及其运行方法、制备方法-CN202311015626.5在审
发明人：黄湘俊;朱莉莉;石正雨;罗士忠;肖晶晶 -专利权人：湖北九峰山实验室
申请日： 2023-08-11 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H04R19/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种压电MEMS换能器及其运行方法、制备方法，压电MEMS换能器包括：内设空腔的衬底、设置于衬底上的至少一个振膜结构；每个振膜结构包括：支撑薄膜、设置于支撑薄膜上侧、下侧或者上下两侧的压电复合结构；压电复合结构包括：至少一个压电层及多个电极层；电极层的数量为压电层的数量加一；压电层与电极层交替上下排列。本申请在内设空腔的衬底上设置至少一个振膜结构；通过对不同压电层的极化，以及对压电复合结构之间进行合理的电气连接，当压电MEMS换能器用作执行器或传感器时，可以获得相较于现有结构更大的振动偏移、驱动力以及发射声压级，或者获得更大的接收灵敏度以及更高的信噪比。
压电 mems 换能器及其运行方法制备

[发明专利]压电MEMS发声器、扬声器及发声器制作方法-CN202311014275.6在审
发明人：黄湘俊;朱莉莉;石正雨 -专利权人：湖北九峰山实验室
申请日： 2023-08-11 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H04R19/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种压电MEMS发声器、扬声器及发声器制作方法，基底的底部中心区域具有空腔，其上表面具有绝缘层；至少一个压电复合单元设置在基底上表面的中心区域，其他压电复合单元设置在基底上表面的边缘区域；每个压电复合单元的预设位置具有金属层沉积形成的焊盘，其他区域沉积有钝化层；在与空腔对应的基底的上部，具有至少一个凹槽，每个凹槽内和开口位置的预设区域覆盖填充有柔性材料，具有至少一个凹槽的基底的上部区域形成振动薄膜。该发声器在基底的上部区域设置凹槽，有助于释放压电复合单元和振动薄膜的应力，在凹槽内覆盖填充柔性材料，可以防止声音泄露，同时可以降低振动薄膜的质量，进而提升声压级。
压电 mems 发声器扬声器制作方法

[发明专利]一种压电MEMS扬声器及其制备方法-CN202311016755.6在审
发明人：黄湘俊;朱莉莉;石正雨;罗士忠;肖晶晶 -专利权人：湖北九峰山实验室
申请日： 2023-08-11 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H04R19/02 文献下载
摘要：本发明涉及扬声器技术领域，尤其涉及一种压电MEMS扬声器及其制备方法，所述压电MEMS扬声器包括：本体，所述本体上开设有空腔区域；振动薄膜，设于所述空腔区域上方并与所述本体上表面连接；悬臂梁弹簧结构，有多个，多个所述悬臂梁弹簧结构依次连接沿所述本体上表面周向设置；所述悬臂梁弹簧结构包括固定端和自由端。在本申请中在振动薄膜上设置第一压电复合结构、在悬臂梁弹簧上设置第二压电复合结构，根据第一压电复合结构与第二压电复合结构的电极化方向，将第一压电复合结构与第二压电复合结构串联或并联，从而提高MEMS扬声器的驱动力和机械特性，从而使得MEMS扬声器获得更大的声压级输出。
一种压电 mems 扬声器及其制备方法

[发明专利]MEMS压电麦克风-CN202110332900.6有效
发明人：童贝;石正雨 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H04R17/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS压电麦克风，包括至少一个压电单元，所述压电单元包括：基底，所述基底包括围成收容腔的环形周壁和设于所述收容腔内的支撑结构，膜片结构，包括固定区域和若干个活动部，所述固定区域包括锚定部和自所述锚定部的边缘径向延伸形成的若干个锚定臂；所述压电单元还包括若干个弹性结构，每个所述弹性结构包括固定部和固定于所述固定部上的弹性部，所述固定部固定于所述锚定臂上，所述弹性部环绕于每个所述活动部的外周侧上。本发明将若干个弹性结构的所述固定部固定于所述锚定臂上，所述弹性部环绕于每个所述活动部的外周侧上，使膜片通过弹性结构束缚到基底上，从而大大提升了麦克风的可靠性。
mems 压电麦克风

[实用新型]振膜及MEMS传感器-CN202221018386.5有效
发明人：王琳琳;赵转转;王凯杰;石正雨;阮玉明;张睿 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H04R7/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种振膜及应用该振膜的MEMS传感器，所述振膜为矩形振膜，振膜包括振膜主体部及设置于所述振膜主体部外侧且位于所述振膜四个角部的固定部，所述矩形振膜的四个角部向所述振膜主体部方向凹陷形成的凹陷部，所述固定部包括沿所述振膜形成所述凹陷部的边缘设置的至少两个固定锚点。本实用新型提高了振膜的有效感应面积及MEMS传感器的声学性能。
mems 传感器

[实用新型]MEMS麦克风-CN202220983244.6有效
发明人：赵转转;石正雨;王凯杰;王琳琳;张睿 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜位于所述背板靠近所述基底的一侧，所述振膜包括振动部和环绕所述振动部并固定于所述基底的固定部，所述MEMS麦克风还设有位于所述振膜和背板之间的支撑件，所述振膜的振动部和所述背板通过所述支撑件固定连接，所述背板朝向所述振膜一侧设有阻挡部，所述阻挡部沿所述振膜的振动方向的投影位于所述振膜的振动部。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风可以提高其信噪比。
mems 麦克风

[实用新型]MEMS麦克风-CN202220231023.3有效
发明人： 石正雨;王琳琳;张睿 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，所述背板包括中间部和围绕所述中间部并固定于所述基底的固定部，所述固定部的厚度大于所述中间部的厚度，所述固定部包括远离所述基底的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面包括与所述中间部连接的第一弧面，所述第一弧面向远离所述基底方向凸出。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风可以改善背板的可靠性。
mems 麦克风

[实用新型]MEMS麦克风芯片-CN202123219721.6有效
发明人： 石正雨;王琳琳;张睿 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型的MEMS麦克风芯片包括基底、通过第一固定部支撑于所述基底上方的振膜以及通过第二固定部支撑于所述基底上方的背板，所述振膜通过若干间隔设置的弹性臂固定于所述第一固定部，使得振膜可以通过形变释放应力，从而减小应力对振膜刚度的影响、提高了MEMS麦克风的灵敏度；MEMS麦克风芯片还包括设于所述背板上且收容于所述内腔内的凸起部以及固定于振膜上的加强部，增强了MEMS麦克风的低频性能和谐振频率。
mems 麦克风芯片

[实用新型]MEMS麦克风芯片-CN202123219722.0有效
发明人： 石正雨;王琳琳;张睿 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H04R7/22 文献下载
摘要：本实用新型的MEMS麦克风芯片包括基底、通过第一固定部支撑于所述基底上方的振膜以及通过第二固定部支撑于所述基底上方的背板，所述振膜通过若干间隔设置的弹性臂固定于所述第一固定部，使得振膜可以通过形变释放应力，从而减小应力对振膜刚度的影响、提高了MEMS麦克风芯片的灵敏度；MEMS麦克风芯片还包括设于所述背板或所述振膜上且收容于所述内腔内的凸起部，该凸起部环绕振膜周界，增强了MEMS麦克风芯片的低频性能、提升了谐振频率。
mems 麦克风芯片

[实用新型]一种MEMS麦克风芯片-CN202122293158.0有效
发明人：沈宇;石正雨;王琳琳;张睿 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种MEMS麦克风芯片，MEMS麦克风芯片包括基底、第一膜层以及第二膜层，所述MEMS麦克风芯片还包括支撑所述第一膜层的支撑壁，所述支撑壁的波纹结构包括具有第一开口的凹陷部和具有第二开口的凸起部，所述第一开口和所述第二开口的朝向相反，所述凹陷部包括第一弯曲部以及自所述第一弯曲部的两端分别延伸并围设形成所述第一开口的第一连接部，所述凸起部包括第二弯曲部以及自所述第二弯曲部的两端分别延伸并围设形成所述第二开口的第二连接部，所述第一连接部的端部与相邻的所述第二连接部的端部连接形成所述波纹结构。本实用新型可有效减小背板与支撑壁连接处断裂的风险，防止MEMS麦克风芯片失效。
一种 mems 麦克风芯片

[实用新型]MEMS麦克风-CN202122956535.4有效
发明人： 石正雨;赵转转;张睿 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，所述背板包括本体部、与所述基底连接的固定部以及连接所述本体部和固定部的连接部，所述连接部包括远离所述基底的第一表面，所述第一表面包括与所述本体部连接的第一弧面，所述第一弧面向远离所述基底方向凸出。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风可提高产品的可靠性。
mems 麦克风

[实用新型]MEMS麦克风-CN202122960022.0有效
发明人：童贝;石正雨;王琳琳;张睿 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板一侧的第一振膜、设置于所述背板另一侧的第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板间隔设置，所述背板设有若干个通孔，所述MEMS麦克风还包括连接所述第一振膜、背板以及第二振膜的连接柱。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风，所述连接柱连接所述第一振膜、背板和第二振膜，可提高所述MEMS麦克风的可靠性和灵敏度。
mems 麦克风

[实用新型]MEMS麦克风-CN202122409521.0有效
发明人：赵转转;石正雨;张睿 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括封装壳体、与所述封装壳体围成收容空间的基板、收容于所述收容空间内并且设有背腔的MEMS芯片以及与所述MEMS芯片电连接的ASIC芯片，所述MEMS麦克风还设有与所述封装壳体连接的阻挡结构，所述阻挡结构在基板上的正投影至少部分与MEMS芯片重合。此MEMS麦克风可以提高性能。
mems 麦克风

[发明专利]膜层结构测试系统及膜层电学参数测试结构-CN202011295120.0有效
发明人：沈宇;占瞻;石正雨;童贝 -专利权人：瑞声新能源发展（常州）有限公司科教城分公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G01R29/22 文献下载
摘要：本发明公开一种膜层结构测试系统，其包括信号产生模块、待测模块、信号放大模块以及信号处理模块，信号产生模块用于产生检测信号；待测模块包括压电薄膜，待测模块用于接收检测信号，将压电薄膜通过逆压电效应产生形变并将形变转换成电信号，再将该电信号在压电薄膜通过正压电效应产生输出电信号；信号放大模块用于将接收的输出电信号进行放大处理产生放大电信号；信号处理模块用于分别接收检测信号和放大电信号，再进行比较处理，获得压电薄膜的电学参数。本发明还公开两种应用于膜层结构测试系统的膜层电学参数测试结构。与相关技术相比，本发明的膜层结构测试系统和膜层电学参数测试结构的结构简单且易于测试。
结构测试系统电学参数

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