[发明专利]一种光疗用蓝绿光芯片的外延结构及制备方法有效
| 申请号： | 202110307983.3 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113078244B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 罗轶;张健;郭庆霞;易斌;吴雪 | 申请（专利权）人： | 北京创盈光电医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02;H01L33/04;H01L33/06;H01L33/10;H01L33/12;H01L33/14;H01L33/36;H01L33/00;A61N5/06 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 张瑞雪 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及电子器件制造技术的领域，具体公开了一种光疗用蓝绿光芯片的外延结构及制备方法。光疗用蓝绿光芯片的外延结构包括衬底和依次设于衬底上的反射DBR层、第一n型GaN层、第一量子阱层、第一p型GaN层、出射DBR层、隧道结和GaN基LED外延片；其制备方法为：在衬底上依次生成反射DBR层、第一n型GaN层、第一量子阱层、第一p型GaN层、出射DBR层、隧道结和GaN基LED外延片。本申请的光疗用蓝绿光芯片的外延结构具有发光角度相对大、半波宽相对窄的优点；另外，本申请的制备方法有助于减少光损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光疗 蓝绿 芯片 外延 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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