[发明专利]一种FeSiAl-SiO2有效

专利信息
申请号: 202110299100.9 申请日: 2021-03-20
公开(公告)号: CN113106392B 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 范爱玲;高殿超;郭亚奇;庞伟;谢登奎 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: C23C14/14 分类号: C23C14/14;C23C14/10;C23C14/35
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 刘萍
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种FeSiAl‑SiO2微波衰减复合涂层及其制备方法,属于材料技术领域。FeSiAl‑SiO2微波衰减复合涂层由内层、中间层、外层构成,内层为FeSiAl微波衰减层;中间层为FeSiAl‑SiO2复合过渡层,且在垂直方向上成分渐变,即中间层由内至外FeSiAl的含量逐渐降低,SiO2的含量逐渐增加;外层为SiO2阻抗匹配层。制备方法包括以下步骤:(1)将基体材料单面抛光至0.1~2.0μm;(2)在基体上以气相沉积方法制备FeSiAl内层;(3)在FeSiAl内层上以气相沉积方法制备为FeSiAl‑SiO2中间层;(4)FeSiAl‑SiO2中间层上以气相沉积方法制备为SiO2外层,最终获得FeSiAl‑SiO2微波衰减复合涂层。该复合涂层具有质轻、厚度薄、与基体的结合力高、良好的高温稳定性以及优异的微波衰减性能等优点。
搜索关键词: 一种 fesial sio base sub
【主权项】:
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