[发明专利]一种晶圆传输机械手在审
| 申请号： | 202110293343.1 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN113113339A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 沈凌寒 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 邵志 |
| 地址： | 311300 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆传输机械手及其晶圆翻转方法，该晶圆传输机械手包括：横向传输轴，仅位于所述清洗单元的一侧；横向传输拖板，设置在所述横向传输轴上，并能够沿所述横向传输轴做横向运动；第一垂直升降轴，设置在所述横向传输拖板上，并能够在所述横向传输拖板上做竖直运动；旋转台，设置在所述第一垂直升降轴上；第一卡爪夹持臂，与所述旋转台相连，并由所述旋转台驱动做旋转运动。本发明可以满足晶圆在水平和竖直两种状态的自由转换；横向传输拖板不会运行到干燥单元的正上方，从而排除在干燥工艺中将晶圆传输机械手运动部件上的杂质颗粒散落到晶圆上的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传输 机械手 | ||
【主权项】：
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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