[发明专利]一种倒封装器件单粒子评估方法有效
申请号: | 202110277632.2 | 申请日: | 2021-03-15 |
公开(公告)号: | CN113109645B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 焦强;芮二明;刘文宝;张伟;郑宏超 | 申请(专利权)人: | 中国航天标准化研究所 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 任林冲 |
地址: | 100071*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种倒封装器件单粒子评估方法,包括:样品准备;试验装置安装调试;选择离子能量;确定离子到达有源区时的有效LET和射程,如果到达有源区有效,LET值满足试验所要的LET值要求,则采用直接辐照方法开始辐照,否则按照一定原则,选择如下辐照方法:衬底减薄;正封装替代;敏感区评估;局部裸露制样;键合封装制样;单元库推导;离子辐照:按试验方案要求,选择合适的离子,进行辐照;效应检测;绘制单粒子事件截面与入射离子有效LET值的关系曲线。本发明提出七种评估方法,适应各类倒装焊器件特点,可以对宇航用倒装焊器件的单粒子效应做出评价,服务于航天型号,解决宇航倒装焊器件单粒子评估方法缺失问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 封装 器件 粒子 评估 方法 | ||
【主权项】:
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