[发明专利]一种石英杂质元素浓度扩散计算方法、装置及存储介质有效
| 申请号： | 202110270105.9 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113051794B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 李育彪;马强;裴振宇;柯春云;雷绍民 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;G06F30/25;G16C20/20 |
| 代理公司： | 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 | 代理人： | 易贤卫 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石英杂质元素浓度扩散计算方法、装置及计算机可读存储介质，所述方法包括以下步骤：获取石英中杂质元素的空位浓度分布，并将所述空位浓度分布等效为杂质元素自身浓度分布；确定杂质元素边界浓度，以所述杂质元素边界浓度作为有限差分方法的边界条件；通过所述边界条件、有限差分方法及杂质元素自身浓度分布获取不同扩散时间杂质元素浓度剖面分布。本发明提供的石英杂质元素浓度扩散计算方法，实现了石英杂质元素浓度扩散的计算。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 杂质 元素 浓度 扩散 计算方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
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