[发明专利]元素分析装置和元素分析方法有效
| 申请号： | 201780057514.2 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN109716481B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 井上贵仁;内原博;笹井浩平;池山俊広 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场制作所;株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;G01N27/62;G01N31/12 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明在组合加热炉和在真空气氛下对元素进行定量分析的质谱仪的元素分析装置中，对试样气体所含的Ar元素进行高精度的定量分析。所述元素分析装置包括：加热炉(10)，边导入载气边加热放入有试样的石墨坩埚(11)，使所述试样汽化而生成试样气体；四极质谱仪(40)，在真空气氛下对从所述加热炉导出且包含载气和试样气体的混合气体中的所述试样气体所含的Ar元素进行定量分析；第一调压器(111)，控制导入所述加热炉(10)的载气的压力；以及第二调压器(126)，控制从所述加热炉(10)导出的混合气体的压力。 | ||
| 搜索关键词： | 元素 分析 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种元素分析装置，其特征在于，所述元素分析装置包括：加热炉，边导入载气边加热放入有试样的坩埚，使所述试样的至少一部分汽化而生成试样气体；质谱仪，在真空气氛下提取混合气体中的所述试样气体所含的元素并进行定量分析，所述混合气体从所述加热炉导出且包含所述载气和所述试样气体；第一调压器，控制导入所述加热炉的所述载气的压力；以及第二调压器，控制导入所述质谱仪的所述混合气体的压力。
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