[发明专利]一种用于离子源的条形栅网组件有效
| 申请号： | 202110268293.1 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113053709B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 龚俊;范江华;佘鹏程;张双景;石任凭 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/305 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 戴玲 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于离子源的条形栅网组件，包括由上至下间隔布置的地栅网、加速栅网和屏栅网，所述地栅网对应设有用于安装地栅网的地栅法兰，所述加速栅网对应设有包括用于安装加速栅网的加速栅法兰，所述屏栅网对应设有用于安装屏栅网的屏栅法兰，所述屏栅法兰、加速栅法兰和地栅法兰三者相连，所述地栅网、加速栅网和屏栅网均为条形。本发明由于地栅网、加速栅网和屏栅网均为条形结构，那么栅网下方可以沿着栅网长度方向放置多个基片，在刻蚀时沿栅网长度垂直方向往复运动，提高刻蚀的均匀性，这样每次刻蚀的基片数量多，产能高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子源 条形 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所，未经中国电子科技集团公司第四十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110268293.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种通用型分拣设备
- 下一篇：一种底座连接组件、驱动装置、摄像模组及电子设备
