[发明专利]一种实现免洗靶功能的封闭靶仓设备在审
| 申请号： | 202110266053.8 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113061867A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 战永刚;战捷;冯红涛;周林;尹强 | 申请（专利权）人： | 深圳市三束镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 刘曰莹;袁曼曼 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现免洗靶功能的封闭靶仓设备，包括舱体和溅射靶，溅射靶设于舱体内；舱体外还设有：门框、舱门和锁紧装置，舱体上设有开口，门框安装于开口上，舱门与门框相配合实现对舱体的关闭与打开；溅射靶朝向舱门的方向设置；锁紧装置作用于舱门，将舱门锁紧于门框上或将舱门从门框上解锁，舱门锁紧于门框上时，舱体形成一密闭容器。本发明通过将溅射靶置于舱体内，并对舱体设置舱门和锁紧装置，当达到溅射的真空要求时将舱门打开，进行溅射镀膜操作，操作完成后在真空环境下将舱门关闭并锁紧，使溅射靶真空密封于舱体内，大大减少了被氧化的情况，实现了溅射靶的免洗靶功能，且大大提高了溅射膜的纯度和反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 免洗靶 功能 封闭 设备 | ||
【主权项】：
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