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- [发明专利]一种晶控插头对接机构-CN202310739232.8在审
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战永刚;陈合金;冯红涛;战捷;周林
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深圳市三束镀膜技术有限公司
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2023-06-20
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2023-09-29
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H01R13/631
- 本发明适用于镀膜设备领域，提供了一种晶控插头对接机构，包括晶控对插公头和晶控对插母座，晶控对插公头包括压紧定位座和设于压紧定位座内的信号线母头，晶控对插母座包括安装板，安装板上开设有与压紧定位座相适配的定位槽，定位槽内设有与信号线母头对接的信号线公头，安装板连接有锁紧板，锁紧板通过一弹性组件连接有下安装座，锁紧板和下安装座之间形成有缓冲间隙，当信号线母头下压与信号线公头对接时压缩缓冲间隙；保证工件膜层厚度与晶控探头检测厚度一致，也避免了现有技术中因为膜层厚度问题造成的光学性能不稳定；且分离式的晶控对插公头和晶控对插母座，能实现多转架桶循环。
- 一种插头对接机构
- [实用新型]倍增传动机构-CN202221350742.3有效
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战永刚;陈合金;冯红涛;战捷;周林
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深圳市三束镀膜技术有限公司
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2022-05-30
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2022-09-27
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F16H25/20
- 本实用新型公开一种倍增传动机构，包括：倍增机构固定端、驱动件、主动丝杠、主动丝杠螺母、主动齿轮、从动齿轮、从动丝杠螺母、从动丝杠以及倍增机构输出端，主动丝杠的一端与驱动件连接，主动齿轮与主动丝杠连接且主动齿轮跟随主动丝杠转动，主动丝杠螺母与外壳固定连接，从动丝杠螺母与从动齿轮固定连接，倍增机构输出端与从动丝杠固定连接。工作时，伺服电机驱动主动丝杠转动，主动丝杠螺母及外壳向右移动，同时带动主动齿轮转动，从动齿轮以及从动丝杠螺母随主动齿轮转动，进而带动从动丝杠向右移动。本机构输出距离约为原长度的两倍，既避免滚轮摩擦带来的粉尘危害，也避免齿轮齿条撞齿问题，还不影响镀膜机正常的开关动作和真空密封。
- 倍增传动机构
- [实用新型]单驱动双阀盖高阀机构-CN202221327232.4有效
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战永刚;陈合金;战捷;冯红涛;尹强
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深圳市三束镀膜技术有限公司
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2022-05-30
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2022-08-30
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F16K31/163
- 本实用新型公开一种单驱动双阀盖高阀机构，包括高真空分子泵、分子泵阀盖、真空腔体以及驱动组件，驱动组件与分子泵阀盖连接，用于驱动分子泵阀盖打开或关闭。驱动组件包括驱动气缸、主动轴摆臂、主动轴、从动轴、从动轴摆臂以及压杆，主动轴摆臂的一端与驱动气缸连接，另一端与主动轴连接，从动轴连接主动轴以及从动轴摆臂，压杆与从动轴摆臂以及分子泵阀盖连接。本实用新型采用单套气缸机构，同步控制多个分子泵阀盖的开启与闭合，在成本上优于采用多套控制机构，降低设备的生产制作成本，在一定程度上简化了机械结构，缩小设备的整体尺寸，减少了设备的占用空间，并减少了驱动气缸的数量，大幅降低了成本与控制难度，提高了控制的便利性。
- 驱动双阀盖高阀机构
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