[发明专利]灰化设备及灰化方法有效
| 申请号： | 202110259110.X | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113097047B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 解浩楠 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;G03F7/42;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;刘静 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种灰化设备及灰化方法。根据本发明实施例的灰化设备包括反应室，用于晶圆的灰化处理，得到灰化后晶圆；传送通道，与所述反应室相连接，用于传送所述灰化后晶圆至冷却室；以及所述冷却室，与所述传送通道相连接以接收所述灰化后晶圆，并用于所述灰化后晶圆的冷却，其中，所述灰化处理的温度为第一温度；所述传送通道中的至少一部分的温度为第二温度；所述冷却室的温度为第三温度；所述第二温度低于所述第一温度，所述第三温度低于所述第二温度。根据本发明实施例的灰化设备及灰化方法，能够避免晶圆因温度骤冷而发生破片。 | ||
| 搜索关键词： | 灰化 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110259110.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种蓄电池单体在线监测系统
- 下一篇：一种妇产科临床用消毒器
