[发明专利]一种风管连接结构及沉积炉

摘要

本发明属于沉积炉技术领域，一方面公开了一种风管连接结构，该风管连接结构包括套设于风管外的第一套管、第二套管及管帽，第一套管固设于内胆上，并从内胆延伸至隔热层中，第一套管与风管之间设有第一间隙，以使风管能够沿第一套管的延伸方向滑动并能够阻挡保温棉进入内胆中，第二套管固设于外壳上，并由外壳向外界延伸，风管由管帽固接于第二套管，第二套管与风管之间设有连通至隔热层的第二间隙，保温棉填充于第二间隙中，并能够密封第一间隙。本发明另一方面公开了一种沉积炉，该沉积炉包括如上所述的风管连接结构。在满足风管与内胆和外壳之间的密封性的同时，解决风管因具有较大的推力而引发风管与内胆和外壳的连接处易开裂的问题。