[发明专利]一种具有静电单透镜的直流超快电子枪在审

专利信息
申请号: 202110075671.4 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN112490100A 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 李梦超;刘巧;李小菊;陈维;黄骏;王兴权;荣垂才;袁寿财;郭勇;卢秀圆 申请(专利权)人: 赣南师范大学
主分类号: H01J37/065 分类号: H01J37/065;H01J37/12;H01J37/295
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 341000 江西省赣州*** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种具有静电单透镜的直流光阴极超快电子枪,包括阴极、阳极、静电单透镜电极板、陶瓷支柱、单透镜支撑环,单透镜支架等。所述阳极为中心开有通孔、两表面光滑的圆盘。所述单透镜电极板为两表面光滑的双层盘面结构,包括圆形顶盘和圆形凸出底盘,所述圆形顶盘比圆形凸出底盘直径大,导致形成一台阶结构。所述静电单透镜电极板中心开有通孔,该通孔两侧的圆形边缘均做倒圆角处理。所述单透镜支架为双金属盘连接结构,其顶部圆盘上表面做光滑处理且中心开有通孔。所述单透镜支撑环为双圆环结构,包括顶环和底环,底环内径比顶环要小,从而在内部产生一台阶结构,支撑环侧面开有通孔。
搜索关键词: 一种 具有 静电 透镜 直流 电子枪
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赣南师范大学,未经赣南师范大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110075671.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 带电粒子束装置及调整方法-202111632281.9
  • 罗浒;李琰琪 - 上海精测半导体技术有限公司
  • 2021-12-28 - 2023-08-25 - H01J37/065
  • 本发明提供了一种带电粒子束装置及调整方法,所述装置包括:第一聚焦透镜和第二聚焦透镜对带电粒子束进行聚焦;第一偏转电极用于使所述带电粒子束偏转并能到达所述第二聚焦透镜的出口孔的所有区域,以获取所述第二聚焦透镜的出口孔的图像;计算单元根据所述第二聚焦透镜的出口孔的图像,确定所述第二聚焦透镜的中心位置;调节系统基于所述第二聚焦透镜的中心位置,将所述带电粒子束的中心位置、所述第一聚焦透镜的中心位置调节至所述第二聚焦透镜的中心位置所在的竖直线上。本发明通过确定所述第二聚焦透镜的中心位置来调节所述带电粒子束和第一聚焦透镜的位置,减少待测样品的成像球差,并提高了所述带电粒子束装置的分辨率。
  • 一种大气环境工作的高压电子枪装置及使用方法-202310576415.2
  • 张伟;李宗洋 - 星航高能科技(南京)有限公司;南京晟源企业管理合伙企业(有限合伙)
  • 2023-05-22 - 2023-08-04 - H01J37/065
  • 本发明公开了一种大气环境工作的高压电子枪装置及使用方法,高压电子枪装置包括沿电子枪轴线方向依次设置的电子束流发生舱室、减压舱室和等离子体发生舱室,减压舱室和等离子体发生舱室均设有用于对电子束流进行聚焦的聚焦线圈;所述电子束流发生舱室与相邻的减压舱室相连通,电子束流发生舱室包括第一壳体以及设置的第一壳体内的绝缘子、灯丝、灯丝夹具、偏压杯和阳极;偏压杯和灯丝夹具分别与高压电缆内对应的供电导线连通,本发明使用多级减压舱将电子束流发生的高真空环境与电子束工作的大气环境进行隔离,利用等离子体通道传输高能电子,减少电子能量损失,有利于将高压大功率电子束流引入到大气环境中,实现对大型金属结构的焊接。
  • 一种超快扫描电子显微镜系统及其应用方法-202210300281.7
  • 付学文;张亚卿;陈祥;于耀诚;刘芳 - 南开大学
  • 2022-03-24 - 2023-07-28 - H01J37/065
  • 本发明公开了一种超快扫描电子显微镜系统及其应用方法。所述系统包括:扫描电镜,将第一近红外飞秒激光转换为定向聚焦的紫外飞秒激光并经阴极激发产生探测用光电子脉冲的探测激光系统,将第二近红外飞秒激光转换为波长可调的定向聚焦的泵浦用飞秒激光脉冲的泵浦激光系统,对所述探测用光电子脉冲及所述泵浦用飞秒激光脉冲达到待测样品表面的光程差进行调节的光学延迟线,对瞬态二次电子信号进行探测的二次电子探测系统,该系统可在超高时空分辨尺度下实时探测材料表面激发态载流子动力学信息。
  • 微波ECR等离子体阴极环形束电子枪及3D打印方法-201811400305.6
  • 王功;刘亦飞;李亮;贾新建;刘兵山 - 中国科学院空间应用工程与技术中心
  • 2018-11-22 - 2023-07-18 - H01J37/065
  • 本发明公开了一种微波ECR等离子体阴极环形束电子枪及3D打印方法,涉及电子束增材制造技术领域。电子枪通过设置中空的环形结构放电腔,并在放电腔的前端连接有微波源,后端依次连接有引出加速电极和聚焦永磁体,在使用过程中,微波源利用电子回旋共振产生等离子体,引出加速电极将电子引出并在聚焦永磁体的作用下聚束,打印金属丝材从放电腔的中心通过,在聚焦电子束的作用下熔融成型。所以,本发明中的电子枪不仅提供了等离子体阴极,为空间金属增材制造提供热源,而且使用无极放电,免去了材料电极寿命不足的缺点,有利于在空间中使用;另外,金属丝材可以从电子枪的中心通过,环形电子束可以与金属丝材实现自对中,省去了复杂的对中过程。
  • 带电粒子束源-202110305667.2
  • 刘坤;S·J·伦道夫 - FEI 公司
  • 2021-03-23 - 2023-05-30 - H01J37/065
  • 一种例如在电子显微镜中使用的带电粒子束源可包含:导电支撑构件,其联接到基座;安装构件,其联接到所述支撑构件且限定孔;以及发射器构件,其收纳在所述孔中且通过围绕所述孔中的所述发射器构件流动的固定液材料层保持。
  • 浸没式磁透镜电子枪及其光轴对中的方法-202110584640.1
  • 陈喜亚;孙伟强;孟庆浪;蒋俊海 - 中科晶源微电子技术(北京)有限公司
  • 2021-05-27 - 2023-05-16 - H01J37/065
  • 本申请涉及该浸没式磁透镜电子枪,包括:电子束源、电子枪阳极及磁透镜,磁透镜中心处开设有光轴通孔,顶部设置有阳极安装槽,电子枪阳极设置在阳极安装槽内,电子枪阳极的底部及侧壁与阳极安装槽的内壁相贴附,电子枪阳极的侧壁上沿向外延伸,适用于与电镜外壳固定连接,电子束源设置在电子枪阳极上方,用以向下发射电子束。通过在磁透镜顶部开设有安装槽,并将结构与其紧密配合的电子枪阳极设在安装槽中,安装过程中确保对中精度,易于电子束源与电子枪阳极对中,通过本领域实施人员操作调节件,便于电子枪阳极与磁透镜对中,进一步优化对中位置,根据荧光屏上的电子束斑位置及显微图像特点,上至下逐级微调电子光学部件,实现整体系统对中。
  • 一种用于微通道板冲刷除气的电子枪装置-202211602471.0
  • 崔佳华;陈鑫龙;徐鹏霄;唐光华 - 中国电子科技集团公司第五十五研究所
  • 2022-12-14 - 2023-04-11 - H01J37/065
  • 本发明公开了一种用于微通道板冲刷除气的电子枪装置,包括引针法兰、圆筒型金属屏蔽罩、固定支撑杆以及灯丝。本发明的有益效果是:设计了蚊香型的灯丝结构,使灯丝发射出的冲刷电子更加均匀,达到了面电子源的效果;蚊香型灯丝结构显著增大了灯丝的有效发射面积,使得MCP的电子冲刷效率大大提升;增加了圆筒型金属屏蔽罩,由此形成密闭空间,可以有效地屏蔽外围环境对冲刷电子运动轨迹的影响,同时所述金属屏蔽罩分为上下两层,中间采用绝缘陶瓷环连接件进行连接,通过在上下两层金属屏蔽罩上分别施加不同的高压,二者的高压差会形成一个稳定均匀的内部聚焦电场,从而使灯丝发射的冲刷电子束垂直且均匀地冲刷在MCP输入面上。
  • 一种适用于超快电子衍射技术的超高压直流电子枪-202010380230.0
  • 杨靖;胡建波 - 中国工程物理研究院流体物理研究所
  • 2020-05-08 - 2023-04-11 - H01J37/065
  • 本发明公开了一种适用于超快电子衍射技术的超高压直流电子枪,该超高压直流电子枪,由高压直流电源、分压电路、阴极和多个阳极组成,且阴极与阳极通过耐高压陶瓷柱固定连接;所述阴极由金属铸造而成,且在正中心穿孔并镶嵌具有通光功能的材料;所述阳极端的个数由所加电压决定。通过上述方案,本发明达到了获得同时具有超亮度和超高时间分辨率的电子探针脉冲,而不会产生明显的时间抖动的目的,具有很高的实用价值和推广价值。
  • 一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体-202222606157.1
  • 马华;李银龙 - 唐山智通仪表技术有限公司
  • 2022-09-30 - 2023-03-14 - H01J37/065
  • 本实用新型公开了一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体,包括:电子枪筒,所述电子枪筒一侧安装有枪罩,所述电子枪筒内固定安装有绝缘体本体,所述电子枪筒远离枪罩的一端固定安装有阳极,所述电子枪筒内设置有冷阴极,所述枪罩上固定安装有弹簧状冷水管,所述绝缘体本体外表面固定安装有环形安装套,所述绝缘体本体直径与电子枪筒内腔直径相同,所述绝缘体本体为高密度陶瓷材料烧制。本实用新型的绝缘体本体由高密度陶瓷材料烧制,使得电子枪在长时间使用后,绝缘体本体不会发生变形,解决了传统的气体放电电子枪使用高分子材料材质的绝缘体在长时间使用后发生变形,导致密封性能下降,电子枪真空度得不到保证,使枪体报废的问题。
  • 一种低电子束轰击速度的扫描电子显微镜-202211655163.4
  • 牛义;刘偲;刘治国;张小龙 - 安徽泽攸科技有限公司
  • 2022-12-21 - 2023-03-07 - H01J37/065
  • 本发明公开了一种低电子束轰击速度的扫描电子显微镜,包括电子束发射装置、镜筒、电子束减速机构、高电压箱和连接架机构,所述电子束发射装置用于朝向特定方向发射高压电子束;所述镜筒位于所述电子束发射装置的下方,并且所述镜筒的内侧用于汇聚所述电子束发射装置发射的电子束;所述连接架机构设置在所述镜筒的外侧并与所述电子束发射装置连接,其用于调整所述电子束发射装置发射电子束进入所述镜筒内侧的角度;通过在镜筒和电子束发射装置之间设有连接架进行连接,可通过连接架快速调整电子束发射装置与镜筒的间距,从而在保持电子束发射角度的情况下进行快速的调整加速区,另外,也可通过连接架调整电子束发射的角度。
  • 电子发射装置、电子探测装置及其组合体-202210713908.1
  • 信文平;崔战伟;刘钧 - 惠然科技有限公司
  • 2022-06-22 - 2022-09-20 - H01J37/065
  • 本发明公开了一种电子发射装置、一种电子探测装置及其组合体。电子发射装置包括绝缘基体和金属面,金属面覆盖绝缘基体的一侧,金属面的一侧构造出若干灯丝,若干灯丝间隔排布且延伸方向相互平行。电子探测装置包括若干隔离层、若干PN结、若干电子接收层、若干导电柱和若干引出层。本发明提供的电子发射装置与电子探测装置为多电子发射源发射、多探测点接收的形式,能够实现样品图像的阵列化采集,提高采样通量和探测效率。电子发射装置与电子探测装置的组合体能够实现发射‑探测一体化,这种一体化装置所占真空腔室的体积大大减小,有利于推动扫描电子显微镜的小型化、便携化,即为便携式的扫描电子显微镜的实现创造了条件。
  • 带电粒子源模块-202210698168.9
  • L·迪努-格尔特勒;E·P·霍杰沃斯特;J·范索伊斯特 - ASML荷兰有限公司
  • 2018-04-10 - 2022-08-23 - H01J37/065
  • 本发明涉及一种用于产生和发射带电粒子束的带电粒子源模块,包括:框架,包括第一框架部分、第二框架部分以及布置在第一框架部分和第二框架部分之间的并且刚性地连接至它们的一个或多个刚性支撑构件,框架包括安装构件,安装构件通过挠曲连接件而连接到第二框架部分;用于产生带电粒子束的带电粒子源装置,其中带电粒子源装置被布置在第二框架部分处,包括:发射器装置,被配置用于发射带电粒子;以及电极,用于从由发射器装置发射的带电粒子形成带电粒子束;和布置在第一框架部分处的电力连接组件,电力连接组件刚性地连接到第一框架部分,并且带电粒子源装置刚性地连接到第二框架部分,其中带电粒子源装置经由电线电连接至电力连接组件。
  • 光调制电子源-202080061976.3
  • E·加西亚贝里奥斯;J·约瑟夫·阿姆斯特朗;银英·肖-李;J·费尔登;勇-霍·亚历克斯·庄 - 科磊股份有限公司
  • 2020-09-18 - 2022-04-12 - H01J37/065
  • 一种光调制电子源利用光子束源来调制从硅基场发射器发射的电子束的发射电流。所述场发射器的阴极包含突出部,所述突出部经制造于硅衬底上且具有由涂层覆盖的发射尖端。提取器产生电场,所述电场将自由电子吸引朝向所述发射尖端以用于作为所述电子束的部分发射。所述光子束源产生包含具有大于硅的能带隙的能量的光子的光子束,且包含将所述光子束引导到所述发射尖端上的光学器件,其中每一经吸收的光子产生光电子,所述光电子与所述自由电子组合以增强所述电子束的发射电流。控制器通过控制施加到所述发射尖端的所述光子束的强度而调制所述发射电流。监测器测量所述电子束且提供反馈到所述控制器。
  • 一种电子束辐照增强装置及其使用方法-202110144628.9
  • 唐志宏;谷胜栋 - 湖州超群电子科技有限公司
  • 2021-02-02 - 2022-04-05 - H01J37/065
  • 本发明公开了一种电子束辐照增强装置,包括电子束源和样品,所述样品位于电子束源的下方,所述电子束源包括固定壳,且固定壳的顶部外壁开设有第一固定孔,所述第一固定孔的内壁设置有阴极,所述固定壳的底端外壁开设有第二固定孔,且第二固定孔的内壁设置有阳极。本发明通过设置有直线型电子传输通道、直线型屏蔽罩、电场、第一电极、第二电极、波浪型电子传输通道和波浪型屏蔽罩,通过上述部件之间的一个或者多个组合使用能够以通过改变电子的传输方向和增加电子的产额来提高对样品的轰击效果,相对于现有技术来说,显著提高电子利用效率,使产生的电子物尽其用,操作简单,成本较低,减少了电子的浪费。
  • 电子射线应用装置及电子射线应用装置的电子束的射出方法-202080028780.4
  • 西谷智博 - 日商光电魂股份有限公司
  • 2020-10-13 - 2021-11-23 - H01J37/065
  • 本发明提供一种适用于包括光电阴极的电子枪的电子射线应用装置以及该电子射线应用装置的电子束的射出方法。本发明包括电子枪部分、本体部分以及控制部的电子射线应用装置。所述电子枪部分包括光源、通过接收自光源所照射的激发光而射出电子束的光电阴极、以及阳极。所述本体部分包括用以将自所述电子枪部分照射的电子束进行聚焦的物镜。所述控制部至少用以根据自所述光电阴极射出的电子束的尺寸而控制所述物镜的聚焦强度。
  • 加热发叉结构、热场发射电子源及电子显微镜-202120348611.0
  • 郝占海;蔡素枝;陆梁 - 大束科技(北京)有限责任公司
  • 2021-02-05 - 2021-09-21 - H01J37/065
  • 本实用新型提供了一种加热发叉结构、热场发射电子源及电子显微镜,涉及电子显微镜技术领域,解决了加热发叉及位于其端部的发射针尖易与外界振源发生共振,影响成像的技术问题;该加热发叉结构包括具有第一加热部和第二加热部的加热发叉本体,第一加热部和第二加热部连接形成V型结构,V型结构的上部用以与接线柱连接,其下部为用以与发射针尖连接的尖端;且第一加热部和第二加热部均呈条带状;本实用新型加热发叉本体中的第一加热部和第二加热部均为条带状,在与接线柱连接时结构更为稳定,通过将加热发叉的形状由丝状改进为条带状,提高了加热发叉本体的固有频率,防止加热发叉本体与外界振动源产生共振,起到抗振的效果。
  • 一种具有静电单透镜的直流超快电子枪-202120151825.9
  • 李梦超;刘巧;李小菊;陈维;黄骏;王兴权;荣垂才;袁寿财;郭勇;卢秀圆 - 赣南师范大学
  • 2021-01-20 - 2021-08-31 - H01J37/065
  • 本实用新提供一种具有静电单透镜的直流光阴极超快电子枪,包括阴极、阳极、静电单透镜电极板、陶瓷支柱、单透镜支撑环,单透镜支架等。所述阳极为中心开有通孔、两表面光滑的圆盘。所述单透镜电极板为两表面光滑的双层盘面结构,包括圆形顶盘和圆形凸出底盘,所述圆形顶盘比圆形凸出底盘直径大,导致形成一台阶结构。所述静电单透镜电极板中心开有通孔,该通孔两侧的圆形边缘均做倒圆角处理。所述单透镜支架为双金属盘连接结构,其顶部圆盘上表面做光滑处理且中心开有通孔。所述单透镜支撑环为双圆环结构,包括顶环和底环,底环内径比顶环要小,从而在内部产生一台阶结构,支撑环侧面开有通孔。
  • 一种具有静电单透镜的直流超快电子枪-202110075671.4
  • 李梦超;刘巧;李小菊;陈维;黄骏;王兴权;荣垂才;袁寿财;郭勇;卢秀圆 - 赣南师范大学
  • 2021-01-20 - 2021-03-12 - H01J37/065
  • 本发明提供一种具有静电单透镜的直流光阴极超快电子枪,包括阴极、阳极、静电单透镜电极板、陶瓷支柱、单透镜支撑环,单透镜支架等。所述阳极为中心开有通孔、两表面光滑的圆盘。所述单透镜电极板为两表面光滑的双层盘面结构,包括圆形顶盘和圆形凸出底盘,所述圆形顶盘比圆形凸出底盘直径大,导致形成一台阶结构。所述静电单透镜电极板中心开有通孔,该通孔两侧的圆形边缘均做倒圆角处理。所述单透镜支架为双金属盘连接结构,其顶部圆盘上表面做光滑处理且中心开有通孔。所述单透镜支撑环为双圆环结构,包括顶环和底环,底环内径比顶环要小,从而在内部产生一台阶结构,支撑环侧面开有通孔。
  • 一种透射电子显微镜高压电子枪系统倒置的装置-201911198910.4
  • 杨艳娜;张康;李盛;周占青;王万祥;陈真真;岳帅帅 - 河南河大科技发展有限公司
  • 2019-11-29 - 2020-04-10 - H01J37/065
  • 本发明涉及一种透射电子显微镜高压电子枪系统倒置的装置。本发明包括:高压电缆(1),阴极发射极(2),阳极加速极(3),聚光镜系统(4),物镜成像系统(5),观察记录系统(6)。本发明将透射电子显微镜的高压电子枪系统设计于主机镜筒的底部,创新性地将透射电子显微镜的主镜筒结构进行重构,从底向上依次是高压电缆(1),阴极发射极(2),阳极加速极(3),聚光镜系统(4),物镜成像系统(5),观察记录系统(6)可以根据情况置于镜筒的顶部或侧面。高压电子枪系统倒置能够使其镜筒部分整体高度和重量降低,搬运安装、取换样品、更换灯丝等操作更加安全方便;减少了高压电缆的长度,整机的重心趋近于操作台从而使电子发射更加稳定;在进行样品观察时,底置的电子枪装置具有较长的工作距离,可以在更大范围内调节电子显微镜的聚焦,获得较大的样品观察范围。
  • 质量分析电磁铁及离子注入装置-201710059911.5
  • 内藤胜男 - 日新离子机器株式会社
  • 2017-01-24 - 2020-03-17 - H01J37/065
  • 质量分析电磁铁具备一对主线圈和多个副线圈,主线圈具备与离子束的行进方向平行的第1平行部及相对于第1平行部弯折的第1弯折部,一对主线圈相对于离子束的行进方向而上下对称配置,离子束在主线圈以及副线圈形成的磁场下沿着离子束的行进方向,通过由第1平行部以及第1弯折部形成的空间,多个副线圈具有与离子束的行进方向平行的第2平行部以及相对于第2平行部弯折的第2弯折部,且与主线圈的第1平行部以及第1弯折部紧密相接地匹配,相对于离子束的行进方向而上下对称配置,通过主线圈产生质量分析所需磁场,通过调整副线圈中的电流朝向及大小对主线圈产生的磁场进行微调整。可对磁场控制进行微调整且易于修正离子束形状。
  • 微波ECR等离子体阴极环形束电子枪-201821932032.5
  • 王功;刘亦飞;李亮;贾新建;刘兵山 - 中国科学院空间应用工程与技术中心
  • 2018-11-22 - 2019-06-28 - H01J37/065
  • 本实用新型公开了一种微波ECR等离子体阴极环形束电子枪,涉及电子束增材制造技术领域。电子枪通过设置中空的环形结构放电腔,并在放电腔的前端连接有微波源,后端依次连接有引出加速电极和聚焦永磁体,在使用过程中,微波源利用电子回旋共振产生等离子体,引出加速电极将电子引出并在聚焦永磁体的作用下聚束,打印金属丝材从放电腔的中心通过,在聚焦电子束的作用下熔融成型。所以,本实用新型中的电子枪不仅提供了等离子体阴极,为空间金属增材制造提供热源,而且使用无极放电,免去了材料电极寿命不足的缺点,有利于在空间中使用;另外,金属丝材可以从电子枪的中心通过,环形电子束可以与金属丝材实现自对中,省去了复杂的对中过程。
  • 一种环形电子枪-201611218977.6
  • 薛文卿;胡超;杨晨;张月圆;钱奇;朱希进 - 无锡中微掩模电子有限公司
  • 2016-12-26 - 2018-07-03 - H01J37/065
  • 本发明涉及电子枪技术领域,尤其涉及一种环形电子枪,包括灯丝和环形的内圆壁,环形的内圆壁上对称的安装偶数个发射电子的枪口,每个枪口设置一个单点发射电子束装置,由单点发射电子束装置发出的起中和作用的电子束同时从偶数个对称布置的枪口流出,多点发射电子束装置所用的多个灯丝以并联或串联的方式连接。本发明涉及利用环形电子枪对离子束更全面,更完善,更有效地中和作用,从而提高修补位置精度或离子注入机的离子束斑尺寸精度;使修补机二次电子成像清晰度和均匀度更高。
  • 多电极堆叠布置-201480071827.X
  • W.H.乌尔巴努斯;M.J-J.维兰德 - 迈普尔平版印刷IP有限公司
  • 2014-11-14 - 2017-12-12 - H01J37/065
  • 本发明涉及一种电极堆叠(70),其包括用于操纵沿着光轴(A)的带电粒子束的堆叠的电极(71‑80)。每个电极包括电极主体,该电极主体具有用于所述带电粒子束的孔。电极主体相互间隔开并且电极孔沿着光轴同轴地对准。电极堆叠包括介于每一对相邻的电极之间的电绝缘间隔结构(89),电绝缘间隔结构(89)用于沿着轴向方向(Z)以预定相互距离来定位电极(71‑80)。第一电极和第二电极各自包括具有一个或多个支撑部分(86)的电极主体,其中每个支撑部分被配置为容纳至少一个间隔结构(89)。电极堆叠具有至少一个夹紧构件(91‑91c),夹紧构件(91‑91c)被配置为将第一电极和第二电极的支撑部分(86)以及中间间隔结构(89)保持在一起。
  • 送丝型电子束增材制造设备用电子枪-201621097320.4
  • 韦寿祺;朱国坤;黄小东;张建飞 - 桂林狮达机电技术工程有限公司
  • 2016-09-30 - 2017-10-27 - H01J37/065
  • 本实用新型公开一种送丝型电子束增材制造设备用电子枪,主要由高压电缆、高压电缆引出头、电子枪外壳、绝缘组件、聚束极电极、阴极聚束极组件、阳极、灯丝首端电极、灯丝末端电极和灯丝变压器组成。该灯丝变压器浸没在上腔室的绝缘冷却油中,并由铁芯、一次绕组和二次绕组组成;一次绕组绕在铁芯上,该一次绕组的两端通过引出插头同时引出至电子枪外壳之外,并接至灯丝供电电源;二次绕组同样环绕在铁芯上,该二次绕组的一端与灯丝首端电极相连,另一端与灯丝末端电极相连。聚束极电极与灯丝电极间接有一稳压元件。本实用新型有利于电子枪灵活移动及延长灯丝寿命,并能够有效抑制电子枪放电电子束流。
  • 一种用于试条电极预处理的等离子处理装置和方法-201510728647.0
  • 黄勇;杨如树 - 三诺生物传感股份有限公司
  • 2015-10-30 - 2017-08-11 - H01J37/065
  • 本发明公开了一种用于试条电极预处理的等离子处理装置和方法,其中,试条电极预处理方法包括以下步骤设定初始位置,并在初始位置开始对反应区进行等离子处理;沿反应区的延伸方向对反应区进行等离子处理,将反应区的表面润湿特性改为亲水性;设定终止位置,并在终止位置停止对反应区进行等离子处理。本发明所提供的方法,通过对碳糊电极的反应区进行等离子处理,在高电压电场作用下,使工作气体电离,最终产生等离子气体,对碳糊电极进行咬蚀,大大提高碳糊电极表面的亲水性,去除电极表面异物,同时在碳糊电极表面产生羧基、羟基等亲水性基团,利于酶液在电极表面完全均匀地扩散,保证试条电极的稳定性,并且生产效率较高。
  • 一种环形电子枪-201621436968.X
  • 薛文卿;胡超;杨晨;张月圆;钱奇;朱希进 - 无锡中微掩模电子有限公司
  • 2016-12-26 - 2017-06-30 - H01J37/065
  • 本实用新型涉及电子枪技术领域,尤其涉及一种环形电子枪,包括灯丝和环形的内圆壁,环形的内圆壁上对称的安装偶数个发射电子的枪口,每个枪口设置一个单点发射电子束装置,由单点发射电子束装置发出的起中和作用的电子束同时从偶数个对称布置的枪口流出,多点发射电子束装置所用的多个灯丝以并联或串联的方式连接。本实用新型涉及利用环形电子枪对离子束更全面,更完善,更有效地中和作用,从而提高修补位置精度或离子注入机的离子束斑尺寸精度;使修补机二次电子成像清晰度和均匀度更高。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top