[发明专利]柔性音频传感器和柔性音频传感器的制作方法在审
申请号: | 202110050004.0 | 申请日: | 2021-01-14 |
公开(公告)号: | CN112887879A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 冯雪;何申伟;彭祖军;闫宇;李珂 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
主分类号: | H04R7/04 | 分类号: | H04R7/04;H04R17/02 |
代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 赵洁修 |
地址: | 314051 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种柔性音频传感器和柔性音频传感器的制作方法。柔性音频传感器包括支架、第一组件和第二组件。支架具有开口,第一组件包括附接在所述支架上的有机薄膜和附接在所述有机薄膜的朝向所述支架的表面上的第一电极,所述第一组件至少在对应于所述开口的区域形成有镂空孔阵列,第二组件包括附接在所述有机薄膜的背向所述支架的表面上的超薄纸薄膜和附接在所述超薄纸薄膜的朝向所述有机薄膜的表面上的第二电极,所述第二组件至少在对应于所述开口的区域形成有微米孔阵列。本发明的技术方案,通过摩擦起电与静电感应的双重作用,无需外加电源,结构简单且易于制作,可有效的实现外界声音激励下音频信号的检测或采集,应用场景广泛。 | ||
搜索关键词: | 柔性 音频 传感器 制作方法 | ||
【主权项】:
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