[发明专利]一种提高厚靶材用钽板微观组织均匀性的加工方法在审
| 申请号： | 202110048744.0 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112877629A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘施峰;龙豆豆;祝佳林;刘庆;姚力军;王学泽 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | C22F1/18 | 分类号： | C22F1/18;C22F1/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人： | 姚坤 |
| 地址： | 400044 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种提高厚靶材用钽板微观组织均匀性的加工方法，首先对电子束熔炼法制备的钽锭进行锻造开坯，以破碎初始钽锭中粗大的柱状晶组织，经过切片，初次退火热处理工序来获得后续轧制用钽板坯料；再将钽板坯料放置于高温炉内保温，之后进行同步轧制，每道次旋转135°；最后将轧制后的钽板坯料放置于管式炉中再次退火，以获得完全再结晶组织，得钽板靶材。采用本发明的显著效果是成品完全再结晶退火后其平均尺寸较为细小，且不同取向晶粒的平均尺寸差异也较小，织构含量差异也较小，随机取向晶粒含量较高；且钽板靶材的总变形量更小，可生产更厚的钽靶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 厚靶材用钽板 微观 组织 均匀 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆大学，未经重庆大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110048744.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
