[发明专利]光致抗蚀剂去除剂在审

专利信息
申请号: 202080068645.2 申请日: 2020-09-28
公开(公告)号: CN114502708A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 曹远美;M·费尼斯;王莉莉;孙来生;吴爱萍 申请(专利权)人: 弗萨姆材料美国有限责任公司
主分类号: C11D7/10 分类号: C11D7/10;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/50;C11D7/60;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/311
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 吴亦华;徐志明
地址: 美国亚*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 公开了清洁组合物及其使用方法,其中所述组合物包含一种或多种烷醇胺、一种或多种醚醇溶剂或含芳族醇、一种或多种腐蚀抑制剂及任选地一种或多种第二溶剂。
搜索关键词: 光致抗蚀剂 去除
【主权项】:
暂无信息
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