[发明专利]用于光学装置的多深度膜在审

专利信息
申请号: 202080026802.3 申请日: 2020-04-08
公开(公告)号: CN113646668A 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 卡尔·J·阿姆斯特朗;卢多维克·戈代;布莱恩·亚历山大·科恩;韦恩·麦克米兰;詹姆斯·D·斯特拉斯纳;本杰明·里奥登 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: G02B1/12 分类号: G02B1/12;G02B5/02
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开内容的实施方式涉及形成用于制造光学装置的多深度膜。一个实施方式包含在基板的表面上设置装置材料的基底层。装置材料的一个或多个心轴设置在基底层上。设置一个或多个心轴的步骤包含在基底层上方定位掩模。在掩模位于基底层上方的情况下沉积装置材料以形成光学装置,该光学装置具有具基底层深度的基底层及具有第一心轴深度与第二心轴深度的一个或多个心轴。
搜索关键词: 用于 光学 装置 深度
【主权项】:
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  • 本发明公开了一种光学照明装置及光学改性设备,该光学照明装置包括线光源、光调制部件和扫描反射镜,所述光调制部件用于将线光源发出的光线调制为平行光,且匀化后形成具有设定长度的光带,所述扫描反射镜用于将所述光带反射至处理件的工作面;还包括驱动部件,所述驱动部件用于驱动所述扫描反射镜沿设定方向往复运动,所述设定方向为平行于所述工作面的方向;或者,所述扫描反射镜为球面镜,所述扫描反射镜反射至所述工作面的光线范围至少覆盖所述工作面。该光学照明装置的结构设置能够提高局部辐照能量密度,使目标工作面的不同区域受到的辐照总能量相对更均匀,同时还能够节约成本。
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