[实用新型]一种溅镀式真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202021103721.2 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN212451617U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 刘国新;朱一兵;朱爱军 | 申请（专利权）人： | 太仓伟林五金制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人： | 刘巍 |
| 地址： | 215400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅镀式真空镀膜装置，包括工艺腔室，工艺腔室内部设置有基座，基座顶部设置有支撑架，支撑架上端一侧设置有电动机，支撑架的另一侧设置有第一夹持块，第一夹持块远离支撑架的一侧设置有第二夹持块，第二夹持块远离第一夹持块的一侧设置有气缸，工艺腔室的顶部固定连接有靶材，靶材的顶部上表面固定连接有靶件背板，靶件背板顶部上表面固定连接有冷却腔体，冷却腔体下侧设置有冷却腔室，冷却腔体内部设置有进水口与出水口，冷却腔室内部设置有磁控管。本实用新型的一种溅镀式真空镀膜装置，通过设置的气缸带动伸缩杆使得支撑架移动，用来夹持工件，再电动机旋转带动夹持块，可以将工件翻面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅镀式 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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