[实用新型]一种卷料冷却装置及原子层沉积设备有效
| 申请号： | 202020669901.0 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN212109201U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 李哲峰;乌磊 | 申请（专利权）人： | 深圳市原速光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F25D31/00 | 分类号： | F25D31/00;F25D25/04;C23C16/455 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 薛福玲 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种卷料冷却装置及原子层沉积设备，其中卷料冷却装置包括支架、限位辊和冷水辊。本实用新型技术方案通过在支架上设置限位辊，两限位辊平行设置，同时在支架上设置冷水辊，冷水辊的轴线与限位辊的轴线平行，且冷水辊位于两限位辊之间，冷水辊的轴线与两限位辊的轴线之间的连线的角度小于70度，当卷料依次经过限位辊、冷水辊和另一限位辊后，卷料贴附在冷水辊的表面，并由于两限位辊的限位作用，使得卷料与冷水辊之间的接触面积达到最大。通过冷水辊内的水流，能够快速降低卷料的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 装置 原子 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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