[发明专利]一种背向集成激光器件及其制造方法在审
| 申请号： | 202011640268.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112769034A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 翟文豪;刘思旸;张燕 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/024;H01S5/02 |
| 代理公司： | 江苏坤象律师事务所 32393 | 代理人： | 赵新民 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种背向集成激光器件，包括基底、基底内设的波导结构、有源激光器件，有源激光器件通过半导体材料层与基底键合，有源激光器件上部设有第一金属电极，基底内设有第二金属电极结构，第二金属电极结构位于波导结构两侧且与波导结构不接触；第二金属电极结构上方全部或部分覆盖有有源层。本发明还涉及上述激光器件的制造方法，包括，对SOI晶圆进行前段工艺，形成耦合波导，在激光器耦合波导两侧沉积互联金属；将SOI晶圆与载体晶圆键合；去除SOI晶圆上衬底，将BOX层减薄至目标值；制作金属层电极；与外延片键合；对外延片进行图形化处理。本发明的一种背向集成激光器件的制造方法，降低器件电阻，提高器件效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背向 集成 激光 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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