[发明专利]一种获取准分子激光器放电等离子体参数的装置及方法有效
| 申请号： | 202011617806.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112857742B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 游利兵;杨礼昭;方晓东;王宏伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 王挺 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及准分子激光技术领域，具体是涉及一种获取准分子激光器放电等离子体参数的装置及方法。该装置包括沿光路方向依次设置的激光器、扩束组件、第二凸透镜和光干涉仪；激光器，用于产生平行光束；扩束组件，用于扩大激光器产生的平行光束的直径，扩大直径的平行光束用于进入工作状态下的待测气体激光器产生的等离子体区域内；第二凸透镜，用于将从等离子体区域内输出的平行光束生成同心光束；光干涉仪，用于使同心光束发生干涉而生成相干光。本发明获取的是准分子激光器在工作状态下的等离子体的密度，获取准分子激光器工作状态下不同时刻等离子体的密度，能够表征准分子激光器工作中放电腔内的流场的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获取 准分子激光 放电 等离子体 参数 装置 方法 | ||
【主权项】：
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