[发明专利]正交误差抑制系统及MEMS陀螺有效

专利信息
申请号: 202011616396.4 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112762917B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 王晓;杨拥军;任臣 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: G01C19/56 分类号: G01C19/56;G01C19/5776
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 秦敏华
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了一种正交误差抑制系统及MEMS陀螺,该系统包括:驱动信号调节模块,其输出端分别连接正交误差信号抑制模块以及MEMS陀螺的解调模块;检测信号调节模块,其输出端连接正交误差信号抑制模块;正交误差信号抑制模块,其输出端连接解调模块;正交误差信号抑制模块,用于将驱动信号调节模块输出的相位调节后的驱动信号和检测信号调节模块输出的滤波处理后的检测信号进行幅度处理,将得到的直流信号与相位调节后的驱动信号进行信号重构,得到正交误差信号,并将检测信号中的正交误差信号进行抑制后得到检测信号中的哥氏力检测信号,从而不需要引入额外的专用结构和电极即可消除正交误差,从而降低工艺难度。
搜索关键词: 正交 误差 抑制 系统 mems 陀螺
【主权项】:
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