[发明专利]金属有机化学气相沉积设备的反应器在审
| 申请号： | 202011608576.8 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112877775A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陈张笑雄;蒋晓旭;梅劲;葛永晖;王群 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/14 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种金属有机化学气相沉积设备的反应器，属于光电技术领域。包括反应腔体和活动挡板；反应腔体的侧壁具有入料口，入料口贯穿反应腔体的外侧壁和内侧壁；活动挡板位于反应腔体内，活动挡板包括相对的第一侧壁和第二侧壁，活动挡板的第一侧壁与反应腔体的内侧壁滑动贴合，活动挡板的第二侧壁上具有多个凹槽，各凹槽之间相互间隔，活动挡板被配置为，有选择性的在第一位置和第二位置之间移动，以使入料口开启或者封闭。本公开能够提高外延片的生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 有机化学 沉积 设备 反应器 | ||
【主权项】：
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