[发明专利]一种多弧离子镀引弧装置有效
| 申请号： | 202011564072.0 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112746249B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 胡方勤;宋振纶;郑必长;许赪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 史冬梅 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多弧离子镀引弧装置，包括驱动组件和一个或多个引弧单元，所述引弧单元包括引弧针、阴极靶材和靶材电源；阴极靶材与靶材电源连接；引弧针的针尖朝向阴极靶材；驱动组件用于驱动引弧针的针尖接触或者远离阴极靶材。本发明的多弧离子镀引弧装置，可以使用多个引弧针，从而有效提高镀膜效率，并且当使用多个引弧针时，多个引弧针共用一个驱动组件，既节约了空间，又节约了成本，本发明的装置简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子镀 装置 | ||
【主权项】：
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