[发明专利]一种太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明公开一种太阳能电池及其制作方法，涉及光伏技术领域，可以较好的去除拟进行重掺杂的硅基底表面的杂质。该太阳能电池的制作方法包括：提供一硅基底，该硅基底的第一面具有第一掺杂层以及位于第一掺杂层上的第一氧化层，第一氧化层具有贯穿第一氧化层的凹槽，第一掺杂层的第一区域裸露于凹槽的内部；利用氧化性溶液和氢氟酸对凹槽进行清洗以形成凹槽内疏水状态；在第一氧化层的掩模下，在第一区域形成第二掺杂层，第二掺杂层的掺杂浓度大于第一掺杂层的掺杂浓度。本发明提供的太阳能电池及其制作方法用于太阳能电池制造。