[发明专利]器件转印处理方法及微型麦克风防尘装置转印处理方法有效
申请号: | 202011404903.8 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN112606586B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
发明(设计)人: | 林育菁;畠山庸平 | 申请(专利权)人: | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
主分类号: | B41M5/025 | 分类号: | B41M5/025;B41M1/26;H04R31/00 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 王迎;袁文婷 |
地址: | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供一种器件转印处理方法及微型麦克风防尘装置转印处理方法,其中的器件转印处理方法包括在基板上形成牺牲层;在牺牲层远离基板的一侧设置锚点层,锚点层通过凸起且穿透牺牲层的锚点结构与基板固定连接,锚点结构设置在所述锚点层的至少一个角部位置;在锚点层远离基板的一侧设置器件;将器件及位于器件一侧的锚点层固定在转印带上,并将锚点层从牺牲层及基板上剥离,以完成器件的转印处理。利用上述发明能够在牺牲层被刻蚀的情况下,确保其上的器件不被剥离,进而保证器件的密着性。 | ||
搜索关键词: | 器件 处理 方法 微型 麦克风 防尘 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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