[发明专利]一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒及其制造方法在审
申请号: | 202011388212.3 | 申请日: | 2020-12-01 |
公开(公告)号: | CN112626608A | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 张灵玉;程皓;韩李煜;苏超;张亚超;周元龙;马亨;汪志虎;邢如鹏 | 申请(专利权)人: | 西安超码科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;C23C16/26;C23C16/56;C04B41/87 |
代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 马小燕 |
地址: | 710065 陕西省西安市高新区锦*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒,包括N片炭/炭弧瓣,N片炭/炭弧瓣相邻之间通过榫卯连接结构且沿着圆周方向环绕炭/炭拼接保温筒的轴心线连接,相邻之间的炭/炭弧瓣榫卯连接部位上均设置有M个炭/炭销钉,N片炭/炭弧瓣的一侧均设置有榫头,另一侧均设置有榫槽;本发明还公开了一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒的制造方法,将炭/炭弧瓣的榫头装入相邻炭/炭弧瓣的榫槽中后安装销钉,经制备涂层和纯化得到炭/炭拼接保温筒。本发明采用榫卯连接结构在拼接接缝处形成阻隔,避免了热量和侵蚀气体对拼接裂缝及保温筒外层装置和部件的侵蚀作用,适用于单晶硅直拉炉;本发明的制造方法简单,有利于实现大批量生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 直拉炉用炭 拼接 保温 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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