[发明专利]一种数据处理系统及方法有效
申请号: | 202011310254.5 | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN112415862B | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 张雷 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F1/36 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 杨丽爽 |
地址: | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种数据处理系统及方法,用于处理第一光学邻近效应校正任务,第一光学邻近效应校正任务包括:第一子任务和第二子任务,系统包括:第一处理单元和第二处理单元。第一处理单元用于处理第一子任务,第二处理单元用于处理第二子任务。在接收到第二光学邻近效应校正任务且第二光学邻近效应校正任务的优先级大于第一光学邻近效应校正任务的优先级时,第一处理单元停止处理第一子任务,而处理第二光学邻近效应校正任务。在第一处理单元停止处理第一子任务时,第二处理单元处理第二子任务和第一子任务未经处理的部分。在接收到优先级较高的任务时,优先级较高的校正任务和优先级较低的校正任务能够被同时处理,节省光学邻近效应校正时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 数据处理系统 方法 | ||
【主权项】:
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