[发明专利]一种多层膜厚度及光学特性检测方法有效
| 申请号： | 202011296374.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112361972B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 崔长彩;李子清;陆静;胡中伟;徐西鹏;黄辉;黄国钦 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/21;G01N21/31 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 杨依展 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层膜厚度及光学特性检测方法,包括：S1，依序在衬底上沉积薄膜以形成多层膜，该多层膜的薄膜分类金刚石薄膜和金刚石薄膜；S2，测量多层膜的椭偏光谱；S3，判断薄膜是金刚石薄膜或类金刚石薄膜，如为金刚石薄膜则执行S41，如为类金刚石薄膜则执行S42；S41，采用Cauchy模型计算以获全波段的薄膜光学常数和薄膜厚度；S42，选择一段薄膜的透明区，采用Cauchy模型计算以获该波段范围的薄膜光学常数和厚度；S5，在类金刚石薄膜的吸收光谱区添加介电常数振子模型，根据椭偏光谱调整振子的幅度和宽度；S6，利用评价函数MSE评判实验值和拟合值之间的差距，以此确定多层膜的结构以及每一层薄膜的光学常数和薄膜厚度，光学常数包括折射率和消光系数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 厚度 光学 特性 检测 方法 | ||
【主权项】：
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