[发明专利]一种面发射激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011275473.4 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112397998B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 刘安金;张靖 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/11 | 分类号： | H01S5/11;H01S5/183;H01S5/065;H01S5/042 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种面发射激光器，其特征在于，包括：衬底；多层结构，设置在衬底上，其包括多个低折射率材料层、多个高折射率材料层及有源层，多个低折射率材料层及多个高折射率材料层交替生长形成周期性或准周期性的布拉格反射镜结构，有源层位于最后生长的一层低折射率材料层上；其中，周期性的布拉格反射镜结构中多个低折射率材料层及多个高折射率材料层的厚度分别相等，准周期性的布拉格反射镜结构中至少有一层材料层的厚度与其他同折射率材料层的厚度不等；光子晶体层，其设置在多层结构上。本公开还提供了一种面发射激光器的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发射 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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