[发明专利]刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机有效
申请号: | 202011206010.2 | 申请日: | 2020-11-02 |
公开(公告)号: | CN114446749B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 陈克维;孟理;王建忠 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;H01L21/67 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 王欢;刘芳 |
地址: | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种刻蚀机的气体分布板的拆装装置和刻蚀机,涉及半导体制造技术领域,解决刻蚀机的气体分布板的拆装难度大,且易污染气体分布板的问题,该刻蚀机的气体分布板的拆装装置包括握持件、连接件和固定件,固定件可拆卸的连接在刻蚀机的气体分布板上,握持件和固定件通过连接件连接;握持件上设置有供用户手部握持的握持部。本发明能够有效减小气体分布板的拆装难度,提高刻蚀机的维修效率,同时减少拆装过程气体分布板的污染,优化刻蚀机的维修效果,保证刻蚀机的刻蚀效果,延长刻蚀机的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 刻蚀 气体 分布 拆装 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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