[发明专利]一种物件的曝光定位方法有效
| 申请号： | 202011203952.5 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112415860B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 赵涛;陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269 | 代理人： | 安纪平 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种物件的曝光定位方法，包括将载有多个曝光物件的物件载台置于测量载台上，物件载台上设置有至少三个标记点，测量载台测量得到每个标记点在测量载台自身的第一坐标系中的第一标记点坐标，及每个曝光物件在第一坐标系中的第一物件坐标；将物件载台移置曝光机载台上，曝光机测量得到每个标记点在曝光机自身的第三坐标系中的第三标记点坐标；根据第一标记点坐标、第一物件坐标和第三标记点坐标，计算得到每个曝光物件在第三坐标系中的第三物件坐标；曝光机根据第三物件坐标对曝光物件进行定位及曝光。本发明提高了曝光机的曝光产能及曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物件 曝光 定位 方法 | ||
【主权项】：
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