[发明专利]一种连续掩膜电解加工金属微结构的装置有效
申请号: | 202011162434.3 | 申请日: | 2020-10-27 |
公开(公告)号: | CN112404618B | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 明平美;申继文;牛屾;王伟;郑兴帅;张新民;张云燕;肖有平;王文凯;李士成;闫亮;秦歌;曹军 | 申请(专利权)人: | 河南理工大学 |
主分类号: | B23H3/00 | 分类号: | B23H3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 454003 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种连续掩膜电解加工金属微结构的装置,包括喷液嘴、电解电源、工件阳极、工具阴极、喷气嘴、掩膜带、储带轮、收带轮、驱动源、托辊和张紧轮;带有镂空图案或含有渗液微孔的掩膜带在收带轮、张紧轮和储带轮等共同作用下紧密压贴于工具阴极表面并形成包角,再紧密压贴于可旋转的或可移动的工件阳极的待加工面;收带轮连续回收掩膜带并带动工件阳极和工具阴极做同步匀速运动,喷液嘴高速喷射电解液,工件阳极在电场和流场的综合作用下接替地发生均匀的局域化电化学溶解,直到工件完成加工。本发明提出了一种连续掩膜电解加工金属微结构新技术,能够提高活动掩膜电解加工的工艺适应性和稳定性,获得高精度和高表面质量的金属微纳结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 电解 加工 金属 微结构 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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