[发明专利]用于传送机械手的晶圆检测系统及方法

摘要

本发明实施例提供一种用于传送机械手的晶圆检测系统及方法，该系统包括：N个压力传感器，N个晶圆接触器以及控制器，所述N为不小于3的正整数；N个所述压力传感器分别与N个晶圆接触器连接，用于当确定晶圆放置到所述晶圆接触器上后，获取所述晶圆的压力值；所述控制器用于根据所述压力值与预设压力值表判断所述晶圆的类型，得到判断结果；其中，所述预设压力值表设有压力值范围与对应的晶圆类型，增加了压力传感器，能够根据压力传感器获取到的晶圆的压力值判断该晶圆的类型以及是否发生异常，从能够有效地辨别不同地晶圆规格，并且能够发现晶圆异常情况。