[发明专利]一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法在审
| 申请号： | 202011017203.3 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112095078A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 黄逸臻;张梦姿;孙玉俊 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公布一种用于面蒸发源的冷却缓存室及驱动方法，包括CDA系统、冷却室、冷却装置和可伸缩夹持装置；所述CDA系统通过通入管道连接所述冷却室，所述CDA系统用于通入压缩气体来对金属薄片降温；所述冷却室还设置有排出管道，所述排出管道用于排出CDA系统通入的压缩气体；所述冷却室设置有阀门，所述可伸缩夹持装置和所述冷却装置设置在所述冷却室中；所述可伸缩夹持装置用于夹取金属薄片到冷却装置上；所述冷却装置包括下冷却板，所述下冷却板用于承载金属薄片并对其冷却上述技术方案可以确保蒸镀膜层的厚度和膜层的均匀性，而且还可以延长金属薄片的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蒸发 冷却 缓存 驱动 方法 | ||
【主权项】：
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