[发明专利]一种小尺寸GEM膜板的工业化制作方法有效
| 申请号： | 202010925524.7 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111916331B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 董洋;朱丽娜;张梦梦;姚畅;孙亚 | 申请（专利权）人： | 北京航天新立科技有限公司;北京卫星制造厂有限公司 |
| 主分类号： | H01J43/22 | 分类号： | H01J43/22;H01J43/06;H01J9/02 |
| 代理公司： | 北京市京大律师事务所 11321 | 代理人： | 李光松 |
| 地址： | 100039*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种小尺寸GEM膜板的工业化制作方法，包括下料、光绘底片、检验1、加工定位系统、表面清洗、表面涂覆保护层、保护层半固化、图形转移、保护层固化、检验2、表面铜箔蚀刻、表面清洗2、保护层退除、表面清洗3、表面清洗4、检验4、外形加工、表面清洗5、检验5、包装。本发明的膜板经过测试，增益稳定，有效增益均在10 |
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| 搜索关键词： | 一种 尺寸 gem 工业化 制作方法 | ||
【主权项】：
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