[发明专利]一种窄线宽可调谐激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010763790.4 | 申请日： | 2020-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN111740311B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 魏思航;阳红涛;王任凡 | 申请（专利权）人： | 武汉敏芯半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/12;H01S5/20;H01S5/068 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红 |
| 地址： | 430014 湖北省武汉市东湖新技术开发区金融港*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种窄线宽可调谐激光器及其制备方法，该激光器芯片从下到上依次包括衬底层、下波导层和上波导层；下波导层和上波导层位于不同的平面，二者通过垂直耦合进行光能量交换；下波导层设有有源增益波导和下层无源波导，两者采用对接方式连接，下层无源波导通过设置多个弯曲波导延长腔长；上波导层设有上层无源波导和微环反射器，上层无源波导与下层无源波导通过耦合器垂直耦合，微环反射器与上层无源波导耦合连接，上层无源波导通过设置多个弯曲波导延长腔长。本发明的窄线宽可调谐激光器不但激光器芯片尺寸小、可调谐、线宽窄，而且成本低、稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 窄线宽可 调谐 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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